第1章 绪论
1.1 引言
1.2 纳米半导体材料的概念、性能、应用及制备方法
1.2.1 纳米半导体材料的概念
1.2.2 纳米半导体材料的性能及应用
1.2.3 纳米半导体材料的制备方法
第2章 二氧化锡材料概述
2.1 Sno2纳米材料结构、性能及应用
2.1.1 纳米二氧化锡的结构
2.1.2 Sno2纳米材料的性能
2.1.3 Sno2纳米材料的应用
2.2 纳米孔膜的发展
2.2.1 KHR模型
2.2.2 Murphy模型
2.2.3 Wood等其他模型
2.2.4 二氧化锡纳米孔生成机理
2.3 国内外Sn02纳米材料的研究现状
2.3.1 纳米结构二氧化锡的形貌和微结构研究现状
2.3.2 纳米Sno2的气敏性能研究现状
第3章 二氧化锡纳米孔的制备及表征
3.1 实验装置
3.2 实验所需设备及其仪器
3.3 实验材料
3.4 试验用电解液
3.5 实验条件
3.6 实验结果与讨论
3.6.1 电解液为硫酸钠溶液
3.6.2 电解液为磷酸溶液
3.6.3 电解液为草酸溶液
3.7 本章小结
第4章 玻璃衬底上二氧化锡多孔膜的制备及性能测试
4.1 制备材料需要的试剂及设备
4.2 制备材料的反应过程
4.3 实验制得纳米孔的形貌分析
4.4 气敏性能测试
4.4.1 气敏元件主要性能参数
4.4.2 实验所需仪器和药品
4.4.3 气敏特性测试
4.4.4 稳定性的测试
4.5 本章小结
第5章 二氧化锡气体传感器的结构设计
5.1 半导体气敏传感器的工作原理
5.2 气体吸附理论
5.3 气体传感器结构
5.4 气体传感器工艺模拟
5.5 本章小结
结论
参考文献
致谢
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