声明
摘要
第1章 绪论
1.1 课题研究背景及意义
1.1.1 课题背景
1.1.2 研究目的和意义
1.2 国内外研究现状
1.3 本文主要研究的内容
第2章 实验材料与测试方法
2.1 实验材料与仪器
2.1.1 实验原料
2.1.2 实验仪器
2.2 性能测试
(1)体积电阻率测试
(2)交流击穿场强测试
(3)介电谱测试
(4)等温衰减电流测试
(5)耐电晕测试
(6)紫外-可见光谱(UV-VIS)测试
2.3 结构表征
(1)扫描电镜(SEM)测试
(2)小角SAXS散射射线分析
第3章 PI/AIN纳米复合薄膜制备
3.1 聚酰亚胺合成原理
3.1.1 聚酰胺酸合成
3.1.2 聚酰胺酸亚胺化
3.2 氮化铝结构与性能特征
3.3 聚酰亚胺/氮化铝复合薄膜制备
3.4 本章小结
第4章 PI/AIN纳米复合薄膜结构
4.1 PI/AIN纳米复合薄膜断面形貌
4.2 PI/AIN复合薄膜散射体粒径分布
4.3 PI/AIN复合薄膜散射体系分形特性
4.4 PI/AIN复合薄膜散射体系密度分布
4.5 本章小结
第5章 PI/AIN纳米复合薄膜电性能
5.1 PI/AIN纳米复合薄膜介电性能
5.1.1 PI/AIN纳米复合薄膜介电松弛
5.1.2 PI/AIN纳米复合薄膜体积电阻率
5.1.3 PI/AIN纳米复合薄膜交流击穿场强性能
5.2 PI/AIN复合薄膜等温衰减电流与陷阱能级分布
5.2.1 PI/AIN复合薄膜等温衰减电流
5.2.2 PI/AIN复合薄膜陷阱能级分布
5.2.3 PI/AIN复合薄膜陷阱能级密度分布与SAXS关联性
5.2.4 PI/AIN复合薄膜陷阱能级对介电性能的影响
5.3 PI/AIN纳米复合薄膜耐电晕特性与机理
5.3.1 PI/AIN纳米复合薄膜耐电晕老化能力
5.3.2 PI/AIN纳米复合薄膜电晕老化机理
5.4 本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
致谢