一种环型直线超声波马达的研究
THE RESEARCH OF RING-TYPE LINEAR ULTRASONIC MOTOR
摘要
Abstract
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 超声波马达概述
1.3 超声波直线马达国内外研究和发展现状
1.4 课题研究的主要内容
第2章 环型直线行波超声波马达的理论基础
2.1 压电陶瓷的特性
2.2 环型直线行波超声波马达的工作原理
2.3 超声波马达等效电路模型的建立
2.4 本章小结
第3章 环型直线行波超声波马达的有限元分析
3.1 PZT4压电陶瓷参数
3.2 马达模态分析的电学边界条件
3.3 马达模态分析单元选择及边界条件
3.4 马达的各结构尺寸对频率的影响
3.5 马达有效机电耦合系数的计算
3.6 马达的谐响应及瞬态响应分析
3.7 本章小结
第4章 超声波马达样机制作及性能试验
4.1 超声波马达样机制作
4.2 超声波马达的性能测试
4.3 本章小结
结论
参考文献
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明
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致谢
附录 有限元参数化模型分析流程图