垂直记录磁头研磨关键参数的研究
RESEARCH OF PMR HDD HEAD LAPPING PROCESS
摘 要
Abstract
目 录
绪 论
1.1 课题背景
1.2 本课题研究的目的及意义
1.3 国内外相关技术发展现状
1.3.1 国内外垂直记录式磁头研磨技术的发展状况
1.3.2 垂直记录式磁头精密研磨技术需要解决的问题
1.4 本文主要研究内容
垂直记录磁头研磨生产工艺分析
2.1 引言
2.2 硬盘磁头制造工艺流程
2.3 RLG工序分析
2.3.1 RLG工序磨削控制原理
2.3.2 RLG工序的抛光方式
2.3.3 巨阻磁头的RLG工序
2.3.4 垂直记录磁头的特点
2.3.5 垂直记录磁头RLG工序的技术要求
2.4 本章小结
垂直记录磁头研磨工艺坏品成因的研究
3.1 引言
3.2 垂直记录磁头电阻不良品失效分析
3.2.1 垂直记录磁头电阻不良品的离子轰击实验
3.2.2 电阻不良品的电镜图象分析
3.3 磁头极尖表面的划痕形成模型
3.3.1 模型的建立过程
3.3.2 模型的分析过程
3.4 本章小结
垂直记录磁头研磨工艺参数的分析与设计
4.1 引言
4.2 垂直记录式磁头RLG微小划痕的方向控制的参数分析
4.3 垂直记录式磁头RLG微小划痕深度控制的参数分析
4.3.1 1/10μm磨剂和1/20μm磨剂对比实验
4.3.2 多种1/20μm磨剂对比实验
4.4 垂直记录磁头研磨工艺优化参数的验证
4.4.1 磁头研磨工艺参数的小批量运行验证
4.4.2 磁头研磨工艺参数的一般批量运行验证
4.5 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书
致 谢
个人简历