飞秒激光抛光碳化硅陶瓷材料的工艺过程研究
RESEARCH ON FEMTOSECOND LASER PURSE POLISHING OF SILICON CARBIDE CERAMIC MATERIAL
摘 要
Abstract
目 录
绪论
课题的研究背景和意义
碳化硅表面精密加工技术
ELID磨削技术
离子束加工
等离子体抛光技术
磁流变抛光技术
飞秒激光抛光技术
激光抛光技术研究现状
本课题主要研究内容
飞秒激光抛光系统平台搭建
引言
抛光系统搭建
飞秒激光抛光系统组成分析
飞秒激光器
运动控制系统
光束传输与聚焦系统
成像单元
计算机与软件控制单元
本章小结
飞秒激光烧蚀阈值实验及材料去除机理分析
引言
碳化硅烧蚀阈值研究
烧蚀阈值实验方案设计
烧蚀阈值实验原理
实验试件制备
实验系统
实验设计
实验结果及分析
飞秒激光材料去除机理研究
实验设计
实验分析
材料去除机理分析
本章小结
抛光工艺实验及抛光机理分析
引言
抛光实验方案设计
实验材料
实验系统
抛光工艺参数选择
抛光实验分析
光斑重叠率对抛光效果的影响
入射激光功率对抛光效果的影响
激光入射角对抛光效果的影响
抛光机理分析
本章小结
结 论
参考文献
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致 谢