磁控共溅射制备无氢碳化锗薄膜的结构和性能研究
STUDY ON THE STRUCTURE AND PROPERTIESOF HYDROGEN-FREE GERMANIUM CARBIDEFILMS PREPARED BY MAGNETRON CO-SPUTTERING
摘 要
Abstract
目 录
Contents
第1 章 绪 论
1.1 课题研究背景
1.2.1 活性反应蒸镀法
1.2.2 离子注入法
1.2.3 反应磁控溅射法
1.2.4 等离子体增强化学气相沉积法
1.2.5 热丝化学气相沉积法
1.2.6 分子束外延法
1.2.7 脉冲激光沉积法
1.2.8 磁控共溅射法
1.2 碳化锗的制备方法
1.3 碳化锗薄膜概述
1.3.1 碳化锗薄膜的结构特点
1.3.2 碳化锗薄膜的力学性能
1.3.3 碳化锗薄膜的热稳定性
1.3.4 碳化锗薄膜的光学特性
1.3.5 碳化锗薄膜的电学特性
1.4 碳化锗薄膜的应用
1.5 大面积均匀沉积技术
1.6 本文主要研究内容
第2 章 材料制备及实验方法
2.1 实验的设计
2.2 碳化锗薄膜的制备
2.2.1 薄膜制备与表征所需材料
2.2.2 磁控共溅射的工作原理
2.2.3 实验条件及工艺过程
2.3 薄膜表征与测试方法
2.3.1 薄膜结构表征
2.3.2 薄膜力学性能测试
2.3.3 薄膜热稳定性表征
2.3.4 薄膜光学性能表征
2.3.5 薄膜电学性能测试
第3 章 碳化锗薄膜的结构分析
3.1 引言
3.2 薄膜沉积速率
3.2.1 功率对沉积速率的影响
3.2.2 衬底温度对沉积速率的影响
3.3 表面形貌
3.4 晶态结构
3.5 组分分析
3.5.1 XPS 定量分析
3.5.2 沉积条件对薄膜成分的影响
3.6 键合结构
3.6.1 碳化锗薄膜的FTIR 光谱
3.6.2 碳化锗薄膜的Raman 光谱
3.6.3 碳化锗薄膜的X 射线光电子谱
3.7 成键机制和规律
3.8 本章小结
第4 章 碳化锗薄膜的光学与电学性能研究
4.1 引言
4.2 薄膜密度
4.3 可见光光学性质
4.3.1 椭偏模型的建立
4.3.2 光学常数
4.3.3 光学带隙
4.4 红外光学性质
4.4.1 折射率
4.4.2 红外透过率
4.5 电学性质
4.6 本章小结
第5 章 碳化锗薄膜的力学性能及热稳定性研究
5.1 引言
5.2 硬度与杨氏模量
5.3 残余应力
5.3.1 应力的产生与计算
5.3.2 实验结果
5.4 热稳定性
5.4.1 键合结构分析
5.4.2 硬度变化
5.5 本章小结
第6 章 碳化锗薄膜的应用及大面积均匀沉积研究
6.1 引言
6.2 光伏应用
6.3 红外光学应用
6.4 大尺寸均匀薄膜沉积技术
6.4.1 平面均匀薄膜沉积技术
6.4.2 半球面均匀薄膜沉积技术
6.5 本章小结
结 论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文与其他成果
哈尔滨工业大学博士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学博士学位论文使用授权书
致 谢
个人简历