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目录
第1章 绪 论
1.1课题来源及研究的目的和意义
1.2精密和超精密数控机床的研究现状
1.3数控系统的研究概况与发展趋势
1.4本文的主要研究内容
第2章 超精密磨床整机的动态特性分析
2.1引言
2.2模态分析理论
2.3超精密磨床有限元模型的建立
2.4机床整机的模态分析
2.5本章小结
第3章 超精密磨床数控系统的硬件组成与软件设计
3.1引言
3.2超精密磨床的总体结构
3.3机床数控系统的硬件组成
3.4机床数控系统的软件设计
3.5本章小结
第4章 机床数控系统调试及定位精度补偿
4.1引言
4.2伺服控制系统的调试
4.3机床导轨的定位精度检测及误差补偿
4.4本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
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致谢