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目录
第 1章绪论
1.1 课题的研究背景与意义
1.2 外差激光干涉测量中周期非线性误差的研究现状
1.3 本领域存在的重要科学问题
1.4 课题主要研究内容
第 2章周期非线性误差模型与补偿技术研究
2.1 引言
2.2 外差激光干涉测量原理及系统
2.3 周期非线性误差模型
2.4 周期非线性误差特性分析
2.5 周期非线性误差补偿技术分析
2.6 本章小结
第 3章周期非线性误差抑制技术研究
3.1 引言
3.2 非共轴光路式外差干涉结构分析
3.3 外差干涉结构的热误差分析
3.4 非共轴平衡光路式外差激光干涉仪结构设计
3.5 本章小结
第 4章周期非线性误差测量技术研究
4.1 引言
4.2 周期非线性误差的信号特性分析
4.3 正交解调测量法
4.4 频谱分析测量法
4.5 本章小结
第 5章周期非线性误差测量实验与分析
5.1 引言
5.2 周期非线性误差测量实验系统
5.3 实验结果与分析
5.4 本章小结
结论
参考文献
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果
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致谢
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