第一章 绪论
1.1课题研究的背景和意义
1.2国内外在该方向的研究现状及分析
1.3主要研究内容
第二章 磁场辅助电化学机械研抛试验机的设计分析
2.1试验机的结构及原理
2.2试验机结构设计与ANSYS仿真分析
2.3磁场辅助电化学机械研抛磁场仿真及结构设计
2.4 磁场辅助作用机理分析
2.5 本章小结
第三章 磁场辅助电化学机械研抛CFD仿真分析
3.1数值原理
3.2抛光过程的三维CFD仿真
3.3去除率仿真计算
3.4 本章小结
第四章 磁场辅助电化学机械研抛电场仿真分析
4.1 maxwell仿真模型建立
4.2 电场分布规律
4.3抛光垫对研抛表面电场的影响
4.4抛光垫小孔分布对研抛表面电场的影响
4.5电化学电极损失仿真
4.6 本章小结
第五章 研抛实验与结果分析
5.1数据采集系统搭建
5.2普通研抛实验与实验结果分析
5.3外场增效研抛实验和摩擦磨损规律
5.4本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
声明
致谢