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哈尔滨工程大学学位论文原创性声明
第1章绪论
1.1意义
1.2我国大气压力测量的发展现状
1.3压力传感器的种类及国外发展现状
1.4本文的主要研究内容
1.4.1结构设计
1.4.2工艺
1.5相关的主要研究方法
1.5.1优化方法
1.5.2有限元方法
1.6石英压力传感器测量技术指标
第2章石英压力传感器的建模与力学分析
2.1石英压力传感器的工作原理
2.2力学模型与分析
2.3本章小节
第3章石英压力传感器的结构方案与尺寸参数的求解
3.1结构方案
3.2解析法求解
3.2.1压力传感器的工作范围
3.2.2求解形状尺寸
3.3有限元方法的计算
3.3.1软件VIZICZD
3.3.2有限元离散
3.3.3有限元离散
3.3.4边界条件
3.3.5计算结果的处理
3.3.6有限元计算结果
3.4本章小节
第4章工艺的研究
4.1材料
4.2加工工艺
4.3化学腐蚀工艺及腐蚀裕量的计算
4.4膜片金属化工艺
4.5周边封接工艺
4.6本章小结
第5章化学加工理论及(NH4HF2)腐蚀液性能参数测定
5.1 SiC2腐蚀液选择及腐蚀加工原理
5.2化学加工的特点
5.3腐蚀速度V——温度t曲线测定（一定浓度）
5.4腐蚀液的结晶温度测试
5.5腐蚀速度V——时间t曲线的测定及钻蚀分析
5.6退火对腐蚀速度的影响
5.7本章小结
第6章实验结果及分析
6.1实验结果
6.2结果结果分析
6.3本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果
致谢
个人简历
