平板显示器表面缺陷自动检测系统中的自动聚焦与缺陷分类的研究与实现

摘要

平板显示器(FPD(Flat Panel Display))由于具有高分辨率、高亮度、功耗低、体积小和重量轻等优点,广泛应用于显示器领域。在FPD显示器的生产过程中,为了保证显示质量和提高平板显示器产量,显示器的缺陷检测是必不可少的。为了降低成本提高生产效率,平板显示器的制造过程迫切需要一个全自动缺陷检测系统。FPD模组制造过程的面板点灯检测除基础的光电响应量测外,还包括寿命及画质缺陷检测,如点、线、mura、异物等缺陷。然而由于目前检测系统中的工业相机一般不具有自动调焦功能,且检测mura缺陷效果较好的周期算法需要使相机镜头调节到所拍摄的FPD图像具有指定的纹理周期。由于FPD制造过程极其复杂,需近百道工序,因此在生产制造过程中难免会出现缺陷,各生产厂商也要求能快速对这些缺陷进行分类、分等。
　　 本研究针对以上问题主要做了以下工作：⑴分别测试了空域、频域图像清晰度算法,并设计了聚焦流程以实现FPD成像系统的自动对焦。⑵利用傅里叶变换求出FPD图像的纹理周期,以此作为反馈进一步调节相机镜头并自动对焦直到纹理周期满足指定的值。⑶编写分类程序,能够对任意pattern、任意数目、任意等级的缺陷进行分类。