离子束对膜和基体反冲注入,实行所谓的离子束混合处理。 '/>
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第一章绪论
1.1离子注入表面改性技术的方法及特点
1.1.1离子束改性技术方法分类
1.1.2离子束改性技术的特点
1.2国内外离子束表面工程的发展概况
1.2.1离子注入大规模集成电路微细加工技术的发展
1.2.2氮的强离子束工程技术飞速发展和广泛应用
1.2.3多种新兴离子束技术的发展
1.2.4离子束增强多层膜和纳米组装工程
1.4配流副的磨损机理及材料的选配原则
1.4.1磨损的基本类型
1.4.2粘着磨损机理
1.4.3柱塞式液压泵配流副的磨损机理
1.4.4粘着磨损的摩擦副材料的选配
1.5本文主要的研究内容及意义
1.5.1本文主要的研究内容
1.5.2本文的目标及意义
第二章离子束混合处理理论
2.1真空蒸镀理论
2.1.1真空蒸镀的特点
2.1.2真空蒸镀原理
2.1.3真空蒸镀蒸发源
2.2离子束反冲注入理论
2.3离子束混合原理
2.3.1离子束混合碰撞机理
2.3.2离子束混合的样品结构
2.5离子束混合技术的开发及应用
第三章实验及其性能数据的获取
3.1实验方法及试件制作
3.1.1实验方法
3.1.2试件材料及其制作
3.1.3 B组试件真空蒸镀处理
3.1.4经蒸镀处理的试件进行N+反冲注入
3.2摩擦磨损实验条件与测试结果
3.2.1试验条件
3.2.2试件的表面测试
第四章实验结果分析
4.1降低摩擦系数的机理
4.2化学成分的改变
4.3表面硬度的提高
4.3.1沉淀硬化
4.3.2位错强化
4.3.3非晶强化
4.4摩擦性能分析
4.5膜层的粘附性
4.6离子束混合注入与直接注入的比较
第五章结语
5.1小结
5.2未来工作展望
致谢
参考文献
附录