文摘
英文文摘
原创性声明及关于学位论文使用授权的声明
第一章概述
§1.1集成光电子技术的发展
§1.2半导体光开关的种类及发展
§1.3本文的研究内容
第二章半导体光波导的基本原理
§2.1序言
§2.2平板光波导
§2.2脊形光波导
第三章Mach-Zehnder半导体光开关
§3.1序言
§3.2多模干涉器件的基本原理
§3.3多模干涉器件的容差分析
§3.4 Mach-Zehnder半导体光开关
第四章光束传播方法
§4.1 BPM的特点及其发展
§4.2 BPM基本原理
§3.3 BPM方法常用边界条件
§3.4基于BPM的虚轴传播原理
第五章多模干涉Mach-Zehnder半导体光开关的设计及其性能分析
§5.1 SOI半导体光开关的设计
§5.2 SOI脊型光波导的性能分析
§5.3 Mach-Zehnder型半导体光开关的模拟与分析
主要结论
参考文献
致 谢