Theory of Lamb Wave Transducers and Their Applications for Gas and Liquid Sensing

机译：兰姆波传感器的理论及其在气体和液体传感中的应用

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Theoretical basis of Lamb wave transducers (LWT) for gas and liquid sensing is developed systematically. Two basic types of transduction mechanisms, piezoelectric and electrostatic, are discussed. A model for capacitive LWTs with second-order bending mode excitation is further developed. A design with a 100 nm thick silicon plate shows GHz resonance frequency and zg mass resolution, which is comparable with nanomechanical resonators using cantilevers and doubly clamped beams.

机译：系统地开发了用于气体和液体传感的兰姆波传感器（LWT）的理论基础。讨论了两种基本类型的转导机制：压电和静电。进一步开发了具有二阶弯曲模式激励的电容式轻型小汽车的模型。一块厚度为100 nm的硅片的设计显示了GHz谐振频率和zg质量分辨率，这与使用悬臂和双束束的纳米机械谐振器相当。

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来源
《World cybermatics congress;IEEE international conference on green computing and communications;IEEE international conference on internet of things;IEEE international conference on cyber, physical and social computing》|2013年|1714-1717|共4页
会议地点 Beijing(CN)
作者
Ge, Li-Feng;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
关键词
Lamb wave transducer; gas sensing; mass resolution; model; theory;

机译：兰姆波传感器气体感应质量分辨率模型;理论;

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