振動摩擦摩耗試験機によるDLC膜の耐はく離性評価

机译：用振动摩擦磨损测试仪评估DLC膜的抗分层性

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DLC膜に代表される硬質薄膜において，耐はく離性は最も重要な特性の一つである.本研究では，ボールオンプレート方式の振動摩擦摩耗（SRV)試験機を用いて，ロックウェル圧痕試験やスクラッチ試験とは異なる観点からその評価に取り組んでいる本報では，ワイブル分布に基づく統計処理により，はく離荷重の代表値を推定した結果を報告する.

机译：耐分层性是诸如DLC膜之类的硬质薄膜最重要的特性之一，在这项研究中，我们使用了球板式振动摩擦磨损（SRV）测试仪来进行洛氏压痕测试和在本报告中，我们从不同于划痕试验的角度进行评估，并报告了基于威布尔分布通过统计处理估算剥离负荷典型值的结果。

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来源
《第17回評価·診断に関するシンポジウム講演論文集》|2018年|101-102|共2页
会议地点つくば市(JP)
作者
間野　大樹; 大花　継頼;
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作者单位

産業技術総合研究所;

産業技術総合研究所;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类
关键词
Diamona-like carbon; Delamination; Adnesion; high-frequency; linear-oscillation tribometer; Weibull analysis;

机译：类金刚石碳；分层；附着力；高频;线性振动摩擦计威布尔分析;
入库时间 2022-08-26 14:32:29

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