繰返し球圧子押込み下におけるセラミックス薄膜の摩耗挙動に及ぼす押込み角度の影響

摘要

今日，機械部品の使用環境は多様ィ匕しており，製品には高い耐久性が求められている.その要求を満たす手段 の一つとして，耐摩耗性に優れるセラミックス薄膜を金属表面にコーティングする技術が，機械工具，金型，自 動車摺動部品などに広く利用されている一方，成膜する膜種や成膜条件は薄膜の特性に基づいて決定される ため，薄膜の特性を正確に評価することは非常に重要である.薄膜の特性については，さや密着強度など 様々な項目があるが，き裂発生特性に関しては，未だ有用な試験方法が確立しておらず，新たな評価法が望まれ ている状況である.摩耗特性評価に関しては，ピンオンディスク試験をはじめとする簡便な方法が広く利用され ているが,より短時間で，かつ小さな領域での試験が可能な方法が求められている.