プラズマ可変キャパシタの静電容量値およびQ値に関する理論値と実測値の比較

摘要

プラズマ可変キャパシタを試作し，その静電容量値およびQ値をSパラメータ法に基づき測定した.また測定値を等価回路モデルによる理論値と比較し，現実的なシースを考慮することで理論値と測定値が定量的に一致することを確認した.以上から，シースを考慮した等価回路モデルの定量的な妥当性を示した.また，本キャパシタの静電容量値およびQ値の放電電流特性を等価回路モデルに基づき説明した.