Micell Integrated Systems 7516 Precision Dr, Raleigh, NC, 27617;
EUV; CO_2 compatible salts; CCS; DOE; lithography; aspect ratio; LWR; LER;
机译:改性超临界CO_2:磷酸三正丁酯+ CO_2和双-2-乙基己基磷酸+ CO_2从水溶液中萃取镧系离子
机译:与超临界CO_2功率循环集成的CO_2增压系统的设计和优化,用于CO_2捕获和存储系统
机译:CO_2 CO_2电源循环集成的CO_2加压系统的设计与优化CO_2捕获和存储系统
机译:使用CO_2兼容盐(CCS)的超临界CO_2溶液中EUV抗蚀剂的开发:试验的两个完整因数设计的结果(DOE)
机译:使用实验设计(DOE)和历史数据通过推论模型开发预测丙烯损失。
机译:甲氨蝶呤负载壳聚糖纳米载体的粒径优化的全因子模型23:实验设计(DoE)方法
机译:基于琥珀酸的金属有机框架的设计与制备CO_2吸附技术