渦電流測定信号の周波数応答解析による非磁性金属積層部材の厚さ同定

摘要

単層又は積層部材の厚さ測定・評価が産業界のあらゆる場所で求められ、様々な手段が取られてきた。電磁気検査法は非接触の測定する方法として知られている。現有の電磁気式厚み計には、渦電流式のものや電磁式のものがあるが、前者の渦電流式厚み計は、現状では非磁性金属上の絶縁被膜の測定にしか使えず、しかも母材の非磁性金属の導電率を事前に把握しておかなければならないという制約がある。その上、被検体の導電率は製造メーカの違いや経年劣化で変化し、測定結果の信頼性が必ずしも高いとは言えないという問題があった。後者の電磁式厚み計は、磁性金属母材上の非磁性金属層や有機・無機層の厚さ測定しかできず、いずれも母材の厚さ測定ができなかった。従って、被検部材の導電率に依存しない、単層または積層の各層の厚さを測定・評価できる電磁気法が望まれる。