Optical MEMS; Tip-Tilt actuator; vertical combdrive; micromirror; optical scanner; cavity tuning;
机译:Mach-zehnder干涉仪用于分段望远镜中的活塞和倾斜倾斜感测:理论和分析处理
机译:使用基于误差的扰动观测器抑制尖端倾斜镜的宽带振动
机译:附加控制器倾斜镜像控制系统中的振动抑制
机译:紧凑型和应力释放式活塞倾斜镜
机译:基于动态模型的紧凑型,高惯量液体活塞发动机压缩机的设计,验证和特征描述。
机译:具有高可靠性的电热Cu / W双压电晶片倾斜式MEMS镜
机译:设计和开发用于天基自适应光学系统的329段倾斜活塞镜阵列
机译:椭圆框架倾斜式倾斜镜,针对恒星跟踪进行了优化。