粒度分布が狭小な中空シリカナノ粒子を1段配列させた反射防止膜の特性について

摘要

光の干渉効果を利用して反射光を低減する反射防止膜は、視認性アップやコントラストの向上のために多くのディスプレイ最表面に設けられている。ディスプレイに用いられる反射防止膜の成膜方法は、Dryスパッタ方式とWetコーティング方式に大別されるが、近年は大面積対応、大気圧下での連続生産性に優れるWetコーティング方式が主流となっている。中空シリカナノ粒子は、シリカナノ粒子の内部に空孔を有しており、その構造からなる低い屈折率を利用して、Wetコーティングの反射防止膜用の低屈折率フィラーとして広く使用されている。反射防止膜は光学設計上、膜厚を 100nm 程度にコントロールする必要があるため、用いる低屈折率フィラーのサイズも100nm以下が求められ、通常は50nmサイズ程度の中空シリカナノ粒子が上下に 2 列配列(2段配列)される形で用いられている。