シリコン結晶中の低濃度炭素の測定 (XIV)1×10~(13)cm~(-3)までの赤外用人工ブロックゲージの作製と共有

摘要

前回[1]までの発表において第二世代赤外吸収法(電子線照射人工参照試料[2]とフォノン吸収妨害対策のスペクトル処理(3点ベースライン)[3]と高性能装置の使用[3])によって世界の先進ポリシリコンメーカで濃度測定用のpoly-FZ結晶の約1013cm-3までの検出を達成し、国際ネットワーク内の情報の共有により約1014cm-3までの精度と互換性と信頼性を確保し実用化したことを報告した。今回はその具体的方法と進展について述べる。