ドラム式電着ダイヤモンドワイヤ製造装置の開発

摘要

近年，太陽電池やLED 製品の普及に伴い，シリコンやサファイア等の硬脆材料の切断加工に電着ダイヤモンドワイヤが広く利用されている．ダイヤモンド砥粒を複合めっきによりピアノ線に固着した電着ダイヤモンドワイヤの需要は急速に伸びている．しかし現状の電着ダイヤモンドワイヤの製造においては，めっき工程における工具製造時間が長く，生産コストが高いという問題がある．これまでに，著者らは同時に複数本のダイヤモンドワイヤが作製できるドラム式電着ダイヤモンドワイヤ製造法を提案し，成膜速度が高く，めっき膜厚の均一性が高いめっきが実現できることを明らかにした．本報では，複合めっきにおける電流密度やフィンの形状，ドラム回転方向がダイヤモンド砥粒の付着特性に与える影響について検討したので報告する．