最近の表面改質とトライボロジー

摘要

各種機械部品および金型に適用されている表面改質法には、浸炭、窒化に代表される拡散硬化処理法とPVD、CVDに代表される硬質皮膜被覆法とがある。拡散硬化処理に関しては、レトルト構造の加熱室よりなるガス多目的炉により、窒化、酸化、浸硫窒化した処理品の諸特性について紹介する。また、硬質皮膜被覆法については、パルスDCプラズマCVD法により作製したTiN，TiCNおよびDLC膜についてそのトライボロジー特性について報告する。