差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討

摘要

MEMS (microelectromechanical systems)技術で作製した小型加速度センサは，動き検知用デバイスとして様々な電子機器に搭載されている。今後，MEMS加速度センサを さらに高感度することで，高精度な人体運動検知·医療診断インフラ管理'移動体自動運転システムなどの幅広レ、分野に応用展開が可能である(1)(2)。そこで我々は，積層メタル技術と高密度錘を用いて高感度な静電容量型MEMS加速度センサを開発している(3)。一般に，加速度センサの静電容量検出には，同相ノイズを除去するために差動検出が広く用いられているM(5)。したがって本研究の目的は，これまで本研究グループが開発してきた加速度センサの差動化である。これにより同相ノイズが威し，加速度センサのさらなる高感度化が可能である。本研究では，錘の上下全面をZ軸の差動容量検出電極とした積層メタルMEMS加速度センサを提案し，試作'評価したので報告する。