積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討

摘要

MEMS(microelectromechanical systems)カ卩速度センサ は、自動車、ゲーム機、スマートフォンなど、身の回りの様々 な電子機器に搭載されている。今後、MEMS加速度センサ をさらに高感度化することで、移動体制御や構造物診断、宇 宙環境計測など、新たな応用技術の実現が可能である。本研 究室では，近年、積層メタル技術を用いて高感度MEMS加 速度センサを開発している。更なる応用実用化のためには、 本加速度センサの傾斜時の感度特性について評価?検討が 必要である(1)。そこで本研究では、センサ傾斜時の感度特性 に関する解析式の導出と実験評価を行い、感度補正のため の感度変化率の近似曲線を検討したので報告する。