ナノダイヤ析出微細電極による超微細穴放電加工技術の開発

摘要

現在，微細放電加工はインクジェットプリンタのノズル穴などの高精度微細穴加工を中心に，多くのマイクロ加工に利用されてきており，特に最近は小径深穴加工の重要性が高まってきている．そこで本研究では，これまで加工が困難であった10μm 以下の微小径深穴加工を実現することを目的とし，微細放電加工実験を行った．被削材は半導体工場の高純度ガス配管に多用されている高純度オーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lであり，精密微小流量用バルブの流量制御に用いられるオリフィスの微細穴加工への適用を想定している．