外乱の影響を受けにくい二波長光干渉応用変形測定法

摘要

現在、非接触、高感度性などの点からレーザを用いた光干渉応用計測技術が注目されている．しかし，光干渉応用変形測定では光路差のサブミクロンオーダの正確な制御が必要であり，振動や空気擾乱等の影響を受ける環境下での応用は難しかった．さらに，取り込み画像間での変形による光路差変化が測定に使用しているレーザの波長より大きい場合には，変形量を測定することができなかった．本研究では，DSPI(Digital Speckle Pattern Interferometory)法に二波長レーザと共通光路干渉計を組み合わせて，突発的変形を測定でき，さらには外乱の影響を受けにくい高精度な変形測定法の開発を目的とした．