ダイヤモンド工具による単結晶シリコンの超精密加工状態監視－工具すくい角の影響

摘要

ダイヤモンド工具による脆性材料の超精密加工において，工具切込み量をある臨界量以下で加工すると延性モード加工が可能となり，また，工具すくい角を負にした方が延性モードで加工しやすいと知られている．一般に，この臨界切込み量は非常に小さいために，常に延性モードとなる切削条件を設定することは困難である．しかし，インプロセスで加工状態をモニタリングすることにより，常に延性モードとなるよう制御できれば，安定した加工を行うことが可能となる．そこで，本研究では，脆性および延性モード加工をインプロセスで判別するための有効なパラメータを明らかにすることを目的とし，単結晶シリコンを工具すくい角を変えて超精密加工したときの切削抵抗，AE 信号と脆性·延性モードとの関係を調べた．