ダイヤモンドワイヤ工具の表面性状が加工特性に与える影響に関する研究－ワイヤ工具表面の砥粒数と加工特性の関係

摘要

近年，結晶系シリコン太陽電池の基板加工にはダイヤモンドワイヤ工具を使用したマルチワイヤソーが用いられている．この加工に用いられるダイヤモンドワイヤ工具は切れ刃となる砥粒をワイヤに固着させているため，高能率な加工を行なうことができる．これまでの研究より，加工能率が高い時は加工能率が低い時よりワイヤ工具表面の砥粒数が多いことが分かっている．しかし，加工前のワイヤ工具表面の砥粒数を変化させた場合における加工に与える影響に関して明らかになっていない．そこで，本研究ではダイヤモンドワイヤ工具作製装置を用いて作製速度を変化させることでワイヤ工具表面の砥粒数を変化させたワイヤ工具の作製を行い，切断加工を行うことで，ワイヤ工具表面の砥粒数が加工に与える影響について評価した．