An Extended Auto-Collimation Method Combined with a Deflect Optical System for Non-Contact Profile Measurement

机译：扩展的自助准直方法与用于非触点轮廓测量的偏转光学系统相结合

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A new laser auto-collimation method combining an optical system to deflect rays is proposed. This method expands the measuring range of auto-collimation method to hundreds of times and enables the profile measurement of fine finished curved surface like lenses, mirrors and molds. Experimental system is constructed and it is confirmed that profile error of concave mirror can be measured by the proposed method with a repeatability of 20nm.

机译：提出了一种结合光学系统偏转光线的新的激光自动准直方法。该方法将自加管方法的测量范围扩展到数百次，并使精细成品弯曲表面的轮廓测量如镜片，镜子和模具。构造实验系统，确认凹面镜的轮廓误差可以通过具有20nm的重复性的拟议方法来测量。

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来源
《International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology》|2005年||共4页
会议地点
作者
Hiroki SHIMIZU; Yoji WATANABE; Wei GAO; Satoshi KIYONO;
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正文语种
中图分类特种结构材料;
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