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【24h】

APPROACH FOR ARTIFICIAL LOAD GENERATION FOR ACCEPTANCE TEST OF AMHS

机译:AMHS接受试验的人工载荷发电方法

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摘要

The automated material handling system (AMHS) is a highly automated transport solution of 300mm semiconductor wafer fabs. Such a complex system gets tested in several phases of implementation. The first test after installation needs an artificial load due to missing production lots. This paper describes an approach of artificial load generation to conduct acceptance tests without a need of production load.
机译:自动化材料处理系统(AMHS)是300mm半导体晶片Fab的高度自动运输解决方案。这种复杂的系统在几个阶段进行了测试。安装后的第一次测试需要由于缺少生产批次而导致的人为负担。本文描述了一种人工负荷生成的方法,以进行验收测试而无需生产载荷。

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