heterodyne interferometer; dynamic measurement; phase measurement;
机译:信号参数确定方法,外差干涉仪系统,光刻设备和器件制造方法
机译:用于外差光栅干涉仪的高效镀金交叉光栅,具有改进的信号对比度和光学细分
机译:使用分散固定延迟干涉仪方法对径向速度仪器进行精确的群时延测量。二。使用外部干涉仪滤波器的外差梳的应用
机译:外差干涉仪中提高精度的新型信号处理方法
机译:远程和提取化学传感的外差光谱信号高带宽处理
机译:基于双通道正交解调的外差式激光干涉仪非线性测量方法
机译:跟踪具有数字锁循环读数的外差干涉仪中象限光电二极管的跟踪长度和差分 - 波对传感信号
机译:改进的外差干涉仪信号处理方法