真空中における平板電極上の電界電子放出箇所の特性調査と絶縁破壊箇所の観察

摘要

本研究では，平板電極の局所的な箇所における電界電子放出特性の調査および絶縁破壊箇所の観察を行い，絶縁破壊が電子放出箇所の特性に及ぼす影響および電子放出箇所と絶縁破壊箇所の相関関係について検討を行った。さらに絶縁破壊前後の電子放出箇所をEEMで観察し，以下の結果を得た。