精密切削を用いたシリアルセクショニング法による電子顕微鏡内小型観察装置の基礎検討

摘要

本研究では，汎用 SEM 内でのナノ精度での切削によるシリアルセクショニング法の実現を目指して，小型の全自動切削装置のプロトタイプを開発した．変位拡大機構付きアクチュエータと精密ステージにより構成した．切削装置の寸法は， 170×120×70 mmであった．性能評価として大気中で水平駆動用アクチュエータによるステージの真直度と鉛直方向のアクチュエータの位置決め精度を検証し，切削に十分な性能を有することを確認した．さらに本装置により，80 nmステップ指令の連続切削を8回行い，数十nmステップの階段形状を作製することでサブマイクロメートル精度の連続切削が可能であることを実証した．