レーザー誘起ブレークダウン分光法（LIBS）を用いたホウ化ジルコニウムの表面硬度測定への適用検討（1）測定条件の予備検討

摘要

LIBS によるジルコニウム系ホウ化物（ZrB_x）の組成とビッカース硬さの同時測定手法への測定系を検討し、適用性を有することが示唆された。