装置発熱を考慮したクリーンルーム用温熱環境シミュレータの開発:その６ 装置発熱モニタリングシステムの概要

摘要

大型クリーンルーム（以下CR）を要する半導体製造工場のエネルギー消費量は膨大であり、エネルギー消費の要因の一つである生産装置からの発熱状況を把握することは、省エネを検討する上で重要である。しかし、実際に稼働中の生産装置の発熱状況は把握されていないことも多く、発熱量を推定して設計しているのが現状である。そこで、既報（その５）にて、装置発熱状況をモニタリングするためには、センサシステム開発が必要であるとの結論に至ったこともあり、放射温度センサ、色素増感太陽光パネルとデータ通信モジュールで構成される『装置発熱モニタリングシステム』を開発し、生産装置からの発熱状況を把握する試みを行った。本報では、システムの概要と性能検証実験について報告する。