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Advanced concepts for UV laser beam shaping with non-rotationally symmetric optical elements

机译：使用非旋转对称光学元件进行UV激光束整形的高级概念

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Abstract: The potential of non-rotationally symmetric optical elements (NOEs) is demonstrated with respect to mask projection techniques with UV excimer laser radiation. NOEs are diamond turned mirrors with an almost arbitrary surface shape. The operation principle of the NOEs presented here is the concept of beam integration including beamlet shaping. Efficient and innovative processing is enabled by generating complex beam profiles adapted to the mask apertures demonstrated for the generation an annular shaped beam profile.!13

机译：摘要：对于使用紫外线准分子激光辐射的掩模投影技术，证明了非旋转对称光学元件（NOE）的潜力。 NOE是具有几乎任意表面形状的金刚石转向镜。这里介绍的NOE的工作原理是包括小束整形在内的束积分概念。通过生成复杂的光束轮廓来实现高效创新的处理，该复杂的光束轮廓适用于为生成环形光束轮廓而演示的掩模孔！13

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来源
《Lasers in Material Processing》||p.328-334|共7页
会议地点
作者
Lars Unnebrink; Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule; Aachen; Germany; Thomas Henning; Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik; Aachen; Germany; Marcus Scholl; DLR Institut fuer Technische Physik; Aachen; Germany; Ernst W. Kreutz; Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule Aachen; Aachen; Germany.;
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原文格式 PDF
正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

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