magnetron sputter epitaxy; in-plane orientation; annealing; AlScN; AlN; Mo; BAW; epitaxy;
机译:ZnO薄膜的光学和结构表征以及通过堆叠由电子束蒸发和射频磁控溅射技术制成的ZnO薄层来实现气体传感器的体声波谐振器(BAW)的制造
机译:缺陷对氨-分子束外延和磁控溅射外延生长的GaN传输性能的影响
机译:缺陷对氨-分子束外延和磁控溅射外延生长的GaN传输性能的影响
机译:离子束诱导高Q凸谐谐振器应用的轴线面向面向的C轴取向AlN薄膜生长
机译:反应磁控溅射生长外延TiN(001)层的表面形貌演变。
机译:反应性磁控溅射外延在单模激光作用下在SiOx / Si(001)衬底上单晶纤锌矿GaN纳米棒的选择性区域生长
机译:反应射频磁控溅射外延在Al2O3(0001)和GaN / Al2O3模板上生长的GaN层的结构特性
机译:射频磁控溅射和离子辅助分子束外延生长alN薄膜的比较