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【24h】

Thermal Compensation for High Load Spatial Light Modulators in Real-Time

机译:实时对高负载空间光调制器进行热补偿

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摘要

We introduce a concurrent real-time calibration process for diffractive lithography using liquid crystal spatial light modulators. This allows for increased power handling capabilities for given phase modulation accuracy.
机译:我们介绍了使用液晶空间光调制器的衍射光刻同时进行的实时校准过程。对于给定的相位调制精度,这可以提高功率处理能力。

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