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【24h】

Virtual Shearing Interferometer with LED Illumination for Form Characterization of Optics

机译:具有LED照明的虚拟剪切干涉仪,用于光学器件的形状表征

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摘要

We present a new measurement setup, which uses shear interferometry in combination with an adapted multi-spot LED illumination. For the evaluation of the measured data and quantification of errors, a virtual shearing interferometer with partial coherent light sources is implemented and compared with experimental results.
机译:我们提出了一种新的测量设置,该方法将剪切干涉法与经过调整的多点LED照明结合使用。为了评估测量数据和量化误差,使用了具有部分相干光源的虚拟剪切干涉仪,并将其与实验结果进行了比较。

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