FEM; Absorption; Internal transmittance; Radiometry; Ray tracing;
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机译:由于吸收光和热传导,单个透镜中的温度分布:自适应求解器
机译:渗透型光刻透镜的光源吸热分析
机译:使用脉冲激光光源的深紫外光刻技术中的问题。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
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