机译:使用具有两轴驱动器和力传感器的MEMS微型夹具对软材料进行微型压缩和剪切测试
机译:具有集成电热执行器和力传感器的微机电系统微抓爪的设计:
机译:具有集成电热执行器和力传感器的微机电系统微抓爪的设计:
机译:具有双轴致动器的MEMS微臂和用于微观材料的微观机械表征的力传感器
机译:机械合金化的加苯酚和轻稀土掺杂的FeGa合金的设计,加工和表征,作为执行器和传感器的智能材料。
机译:新型MEMS镊子用于微尺度软材料的粘弹性表征
机译:设计集成电热执行器和力传感器的微机电系统微夹钳
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。