自己平衡型高抵抗ブリッジの実用化: 直流電気抵抗10 MΩ～1 TΩの校正

摘要

高抵抗の精密測定には、ハーフブリッジ法(別名デュアルソースブリッジ法)が広く採用されている。我々は本方式を用いた自己平衡型高抵抗ブリッジ(Self-Balancing High-Resistance Bridge,以下，SBHRB)の開発を行ってきた。本論文では開発したブリッジの特性評価結果、産業技術総合研究所にて高抵抗の校正に使用されているブリッジとの比較結果，及び測定の不確かさについて述べる。