DI値メータの改良と空圧式除振装置への応用

摘要

空圧式除振装置は精密計測や位置決めが必要な装置などに幅広く用いられている.特に半導体露光装置ではICの微細加工に必須の装置であり，半導体基板上にナノオーダの線幅を作製するには様々な振動が問題となる.本研究では半導体露光装置を主な対象とした.除振装置は微小振動を取り除く目的で使用されているが，地震動などの人きな振動に対しては揺れが大きくなり，除振装置の可動部分の機械衝突が起きる.この衝突の回避のため，従来方法では地震発生時に露光装置を停止し，除振装置を着座させることで対応しており，生産性の低下を引き起こしていた.本研究では着座せずに運転を継続することを目標としている.