simulation; mask; printability; PROLITH;
机译:广义不连续伽勒金(GDG)方法精确模拟二维相移掩模
机译:等效透射线理论和时域有限差分法对等效极紫外掩模多层结构的高效散射模拟
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机译:用于创建模拟掩模的特定应用方法
机译:具有掩埋缺陷的EUV光刻掩模的仿真和补偿方法。
机译:匹配方法可根据一段时间内发生的暴露量创建配对的生存数据:模拟研究及其在乳腺癌中的应用
机译:为“研究方法简介”课程创建模拟