adaptive optics; MEMS; MOEMS; micromachining; deformable mirror; electrostatic actuation; phase conjugation; aberration compensation; optical phase correction; wavefront correction;
机译:可热变形镜的波前像差补偿
机译:用于自适应补偿旋转对称波阵面的压力驱动可变形反射镜成像特性的理论分析
机译:用于波前高阶模态补偿的组合形变镜自适应光学系统
机译:用于光波前补偿的微加工变形镜
机译:用于激光波前控制的微加工可变形反射镜。
机译:基于模型的波前无传感器控制算法的磁流体可变形镜大像差校正
机译:使用碳化硅可变形镜具有37个用于自适应光学器件的波前补偿
机译:在自适应光学系统中使用可变形反射镜进行望远镜波前像差补偿