MEMS; accelerometer; vibratory gyroscope; thermal expansion; temperature effect; capacitance;
机译:基于生物半导体传感器应用的互联电极的电容设计
机译:电容调制检测霍乱和腹泻的MEMS传感器的设计
机译:用于智能应用的MEMS传感器的电容数字转换器
机译:固体MEMS传感器变形部件的电容偏差
机译:碳化硅与钢的固液互扩散键合,用于高温MEMS传感器的包装和键合。
机译:基于光加热的MEMS微机械双材料传感器的建模用于单个生物细胞的热容量测量
机译:开发用于定向MEMS声音传感器的电容读出电路和传感器网络环境中的声源定位