silicon; laser micromachining; nanosecond; picosecond; femtosecond; IR; UV;
机译:在激光干扰消融期间使用芯片中的毫无芯片和纳秒脉冲的纳米级热扩散
机译:纳米到微微到毫微微:脉冲宽度可实现最佳的激光微加工效果:脉冲宽度的选择对质量,产量和成本有很大影响
机译:飞秒和纳秒激光烧蚀硅过程中烧蚀效率和等离子体膨胀的实验研究
机译:芯片微加工的效率和质量在消融阈值上方 - 毫微微,微微和纳秒激光的比较
机译:由于在硅的高辐照纳秒激光烧蚀过程中由于相爆炸而增强了质量去除。
机译:傅里叶域光学相干层析成像技术比较Ziemer FEMTO LDV经典和水晶线飞秒激光瓣的质量
机译:紫外飞秒和纳秒激光烧蚀硅:烧蚀效率和激光诱导的等离子体膨胀
机译:紫外飞秒和纳秒激光烧蚀硅:烧蚀效率和激光诱导等离子体膨胀