Thin film transistors; Films; Sputtering; Logic gates; Plasmas; Thermal stability; Threshold voltage;
机译:具有等离子增强化学气相沉积低于10 nm SiO的自对准顶栅非晶InGaZnO TFT
机译:通过将顶部栅极分成双门,与共面A-IGZO TFT进行高度可靠的移位寄存器
机译:在干式滑动接触条件下,电弧沉积TiN和溅射沉积WC / C涂层的表面形貌对初始材料转移趋势和摩擦特性的影响
机译:高度稳定的顶栅顶部接触ITZO TFT通过使用高密度等离子体溅射沉积
机译:溅射沉积铟氧化铟氧化物TFT的过程调查
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:RF磁控溅射沉积ITZO的结构和光学性质